Electron CVD - from instrumentation to self-limiting deposition
- Författare
- Linköpings universitet Pentti Niiranen
- (Pentti Niiranen., Funding agency: The Swedish Research Council (VR) under Contracts 2019-05055 and 2023-0349, Härtill 5 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2025)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University | 2025 | Sverige, Linköping | xxv, 70 sidor | 978-91-8118-225-5 |